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用途:白光干涉仪是一种新型的表面形貌测量设备,主要用于获得材料表面的粗糙度、波纹度、翘曲度、自相关函数、承载曲线、轮廓线提取等三维特征参数。以及对材料表面形貌的三维测量,包括:水平尺寸、高度、面积、体积、缺陷深度、曲率半径、倾斜角、栅线分析等。
型号:ContourX-100、ContourX-200、
ContourX-500、Contour GT等
基本参数:
●垂直(zhi)测量范围:0.1 nm 至 10 mm
●垂直(zhi)分辨(bian)率:<0.1 nm
●水平分辨率:0.5 um
●XY样品(pin)台尺寸:150 mm (6in.)
●样品台(tai)移动(dong)范围:150 mm (XY轴)/100 mm(Z轴)
●物镜(jing):2.5X、5X、10X、20X、50x、115X
技术优势:
●专利设(she)计(ji)LED双(shuang)光(guang)源设(she)计(ji)(白(bai)光(guang)、绿光(guang))
●PSI,VSI,USI测试模式,满足绝大(da)部分(fen)样(yang)品(pin)测试需求
●独有的图像拼接(jie)功能
●多种缝合模式
●独具一格的镜头(tou)调整(zheng)水平(ping)设(she)计(ji)
●TTM镜(jing)头:直(zhi)接透过透明介(jie)质测量(liang)介(jie)质下面(mian)的产(chan)品形貌
用途:白光干涉仪是一种新型的表面形貌测量设备,主要用于获得材料表面的粗糙度、波纹度、翘曲度、自相关函数、承载曲线、轮廓线提取等三维特征参数。以及对材料表面形貌的三维测量,包括:水平尺寸、高度、面积、体积、缺陷深度、曲率半径、倾斜角、栅线分析等。
型号:ContourX-100、ContourX-200、
ContourX-500、Contour GT等(deng)
基本参数:
●垂直(zhi)测量(liang)范围:0.1 nm 至 10 mm
●垂直分(fen)辨(bian)率:<0.1 nm
●水平分(fen)辨率:0.5 um
●XY样品台尺寸:150 mm (6in.)
●样品台移(yi)动范(fan)围:150 mm (XY轴(zhou))/100 mm(Z轴(zhou))
●物镜:2.5X、5X、10X、20X、50x、115X
技术优势:
●专利设计LED双光(guang)源设计(白光(guang)、绿光(guang))
●PSI,VSI,USI测试模(mo)式(shi),满足绝大部分(fen)样品(pin)测试需求
●独有的图像拼接功能
●多种缝合模式
●独具一格的镜头调(diao)整水平设(she)计
●TTM镜头:直接透(tou)(tou)过透(tou)(tou)明介质测量介质下面的产品形貌
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